現(xiàn)象:真空泵抽空能力下降,經(jīng)測試真空泵在無負載狀態(tài)下極限真空為8Pa;真空泵進行拆解保養(yǎng)后,真空泵在無負載狀態(tài)下極限真空小于1Pa。
維護保養(yǎng)的過程:對帶回真空泵進行拆解保養(yǎng)及保養(yǎng)后性能測試,在拆解后發(fā)現(xiàn)真空泵腔體內有大量雜質沉積,真空油混濁且粘稠度較高,各級旋片出現(xiàn)不同程度磨損,止逆閥損壞、排氣閥片斷裂,具體說明如下:
1、真空泵油混濁且粘稠度較高,主要原因與腔室內大量雜質沉積和真空油更換周期較長有關,下圖為真空泵腔室內放出的真空油及加入的新油。
2、真空泵抽氣濾網(wǎng)有大量雜質沉積,網(wǎng)孔出現(xiàn)堵塞:
3、真空泵腔室內有大量雜質沉積和粘附,雜質會隨真空泵的運行而流動,易造成真空泵轉子卡死、真空泵各級旋片劃傷及損壞、封堵油路、排氣閥片斷裂等情況,影響真空泵的抽空能力甚至導致真空泵轉子等主要部件損壞。
因大量雜質已經(jīng)粘附于腔室內,普通清洗難以去除,需采用化學試劑浸泡清洗和物理打磨的方法去除。經(jīng)確認,腔體內雜質以膠渣沉積物為主,其他成分無法確定,還需與客戶進行技術探討進行深入了解。
4、排氣閥片斷裂,下圖為換下的排氣閥片的新舊對比:
排氣閥片在真空泵內起到單向閥的作用,斷裂后排氣閥片單向閥作用失效,導致真空泵無法正常抽真空,從而真空泵抽真空能力下降。
5、真空泵內各級旋片出現(xiàn)不同程度磨損及劃傷,真空泵一級旋片側面摩擦面弧度已經(jīng)被磨平,導致旋片配合間隙變大,影響抽空能力。
6、真空泵油位監(jiān)視玻璃已經(jīng)出現(xiàn)腐蝕及雜質附著的情況,無法清晰的對真空泵腔室內的油位進行觀察。
7、真空泵轉子抽排氣濾網(wǎng)已經(jīng)損壞,出現(xiàn)一定程度的腐蝕情況。
8、真空泵腔體密封圈已經(jīng)損壞,不能繼續(xù)使用可能會造成漏油現(xiàn)象。
9、真空泵止逆閥已經(jīng)損壞,導致抽真空下降。
10、真空泵維護保養(yǎng)項目總結:
1)真空泵油更換;
2)真空泵內腔體及轉子清洗、拋光;抽氣濾網(wǎng)清洗;
3)真空泵一級旋片、二級旋片、小旋片更換;一級旋片及二級旋片各一幅(兩片),小旋片為一片;
4)真空泵排氣閥片更換;
5)真空泵油位監(jiān)視窗玻璃更換;
6)真空泵轉子抽排氣濾網(wǎng)更換;
7)真空腔體密封圈更換。
8)真空泵止逆閥更換。
建議:在拆解檢測中發(fā)現(xiàn)真空泵腔體內含有一些酸性雜質附著于腔體內壁及其他配件中,且真空泵內雜質太多,極易造成真空泵損壞,請注意真空等離子清洗機的真空泵需進行定期的拆解維護保養(yǎng)。
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