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時(shí)代高科大講堂Ⅱ：使用半導(dǎo)體真空泵時(shí)需要注意的4個(gè)問(wèn)題

半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用時(shí)，抽取介質(zhì)過(guò)程中經(jīng)過(guò)反應(yīng)室與真空泵，其成分可能極為復(fù)雜，如SiH4與O2在泵口形成SiO2，TiCl4水解會(huì)形成HCl；假設(shè)是油封式機(jī)械泵，這些氣體物質(zhì)還可能與泵油發(fā)生化反。這些變化假設(shè)形成顆粒、可凝物或者腐蝕性介質(zhì)，就可能堵塞真空泵或管路系統(tǒng)，影響真空泵性能，造成壓力上升或超壓，一點(diǎn)中提到的危險(xiǎn)性也更大。所以需要及時(shí)的清洗，并在必要的時(shí)候設(shè)置過(guò)濾設(shè)備。

半導(dǎo)體易產(chǎn)生前面所說(shuō)的易燃易爆、有毒的有害氣體。所以半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用中在抽取這些介質(zhì)時(shí)就必須防止它們?cè)谡婵毡脙?nèi)或者排氣過(guò)程中發(fā)生一些不可控的反應(yīng)。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物質(zhì)，在與空氣或氧接觸的時(shí)候，會(huì)引起燃燒甚至爆炸；氫氣在空氣中的混合比例達(dá)到一定程度與溫度時(shí)也會(huì)發(fā)生燃燒。這些都取決于該物質(zhì)的量以及與環(huán)境的壓力、溫度的關(guān)系。因此半導(dǎo)體真空泵在抽取這些介質(zhì)時(shí)，需要用氮?dú)庵惖亩栊詺怏w，在壓縮前即將這些氣體稀釋到當(dāng)時(shí)條件下的安全范圍。

空氣中的氧如果濃度過(guò)高也會(huì)發(fā)生燃燒及爆炸風(fēng)險(xiǎn)。所以一些情況下需注意氧的濃度，采用惰性氣體來(lái)稀釋，防止?jié)舛冗^(guò)高；假設(shè)是油封機(jī)械泵可能還需要采用一些惰性的與氧相容的真空泵油，并及時(shí)更換油濾和油品。

比較容易理解這點(diǎn)，半導(dǎo)體在真空泵的應(yīng)用中，有害氣體比較多，而無(wú)論是干式真空泵還是油封機(jī)械泵，泵腔內(nèi)溫度過(guò)高，高溫下易燃易爆及有毒氣體就會(huì)容易發(fā)生危險(xiǎn)。當(dāng)我們?cè)谑褂谜婵毡玫臅r(shí)候，需要注意到在導(dǎo)體中的使用安全注意事項(xiàng)，以及后期再使用時(shí)做好操作使用。