在間隙不大的情況下，當溫度升高時，真空泵蓋子會膨脹，而泵殼卻會阻止蓋子的膨脹。由于此，泵殼內便會產生很大的應力，甚至使它爆裂。
為了防止真空泵由于溫度應力而損壞，應該注意下列幾點:
(1)很好地把真空泵的外殼絕熱;
(2)開動前慢慢地均勻的把真空泵加熱:
(3)避免冷卻其中裝有高溫零件的霧件;
(4)泵殼上所有配合處應仔細地根據溫度應力來審核;
(5)軸和軸承的對中性應在冷的狀態(tài)下、預熱的時期內、以及熱的狀態(tài)下加以審核，以防止軸在任何溫度狀態(tài)下產生變形。
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