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硅片表面污染及清洗機(jī)理
在半導(dǎo)體材料的制備過(guò)程中,每一道工序都涉及到清洗,而且清洗的好壞直接影響下一道工序,甚至影響器件的成品率和可靠性。
清洗光學(xué)鏡片
在高質(zhì)量光學(xué)元件的生產(chǎn)中, 對(duì)其表面的精細(xì)清洗是重要的和必不可少的. 微粒,膜層或水的任何痕跡會(huì)造成光學(xué)元件表面缺陷,造成薄膜鍍層的粘合不良和成品的報(bào)廢.
OLED器件清洗及其它工藝流程失效模式分析
OLED 制備過(guò)程中的關(guān)鍵技術(shù) 1、ITO基片的清洗和預(yù)處理 2、陰極隔離柱制備 3、有機(jī)功能薄膜和金屬電極的制備 4、彩色化技術(shù) 5、封裝技術(shù)
電路板清洗技術(shù)
在PCB制程中,電路板新一代清洗技術(shù)主要有以下四種: 1、水清洗技術(shù) 水清洗技術(shù)是今后清洗技術(shù)的發(fā)展方向,須設(shè)置純凈水源和排放水處理車間。它以水作為清洗介質(zhì),并在水中添加表面活性劑、助劑、緩蝕劑、螯合劑等形成一系列以水為基的清洗劑。可以除去水溶劑(助焊劑為水溶性)和非極性污染物。其清洗工藝特點(diǎn)是: 1) 安全性好,不燃燒、不爆炸,基本無(wú)毒;
電鍍生產(chǎn)線的超聲清洗
電鍍之前的超聲清洗能省去人工擦洗和把浸漬的時(shí)間減到最少限度, 從而顯著節(jié)省了時(shí)間和勞力. 超聲攪動(dòng)能從各種金屬和塑料零件上徹底快速清除掉磨光劑, 車間灰塵和其他污垢. 超聲能到達(dá)清洗件的各種縫隙, 盲孔和其他難以進(jìn)入的地方, 結(jié)果清洗出更潔凈的部件.
超聲頻率的選擇
隨著科技的進(jìn)步,精密清洗的工件越來(lái)越精細(xì),清潔度要求也越來(lái)越高。在精密清洗的應(yīng)用上(如線路板、二極管、液晶體、半導(dǎo)體等)使用傳統(tǒng)的頻率(20~30KHz),我們會(huì)發(fā)現(xiàn)不但沒(méi)法達(dá)到清洗的要求,而且還可能造成工件的損傷。最典型的例子就是關(guān)于軍用電子產(chǎn)品,業(yè)已明文規(guī)定不允許使用傳統(tǒng)的頻率(20~30KHz)的超聲波清洗。
超聲波清洗基礎(chǔ)
超聲波清洗是基于空化作用,即在清洗液中無(wú)數(shù)氣泡快速形成并迅速內(nèi)爆。由此產(chǎn)生的沖擊將浸沒(méi)在清洗液中的工件內(nèi)外表面的污物剝落下來(lái)。隨著超聲頻率的提高,氣泡數(shù)量增加而爆破沖擊力減弱,因此,高頻超聲特別適用于小顆粒污垢的清洗而不破壞其工件表面。
混合電路接頭清洗
無(wú)論是否引進(jìn)超聲,常規(guī)溶劑清洗的方式不適用于清洗焊錫后的混合電路接頭上的焊料殘?jiān)?,因?yàn)榍逑慈軇?huì)削弱超聲空化泡的產(chǎn)生。在水中超聲空化作用則大大增強(qiáng),故采用水性清洗系統(tǒng)可解決混合電路接頭上的焊料殘?jiān)那逑磫?wèn)題。
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